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如何实行静电管理?各静电设施点检是如何规定?

解答:通过建立ESD防护体系来实行静电管理。                            

点检规定请参考:检查验证项目周期表

 

 

类别
项目
仪器/方法
周期
备注
环境
温湿度
温湿度表
每日
 
洁净度
粒子计数仪
每周
 
人员装备
装备是否达到要求
目测
每次进入车间
 
综合阻值(防静电鞋的对地电阻)
综合阻值仪
 
手腕带对地电阻
手腕带检测仪
 
接地
接地系统电阻
接地阻值测量仪/摇表
每年
 
设备,工作台接地状况
目测
每日
 
设备,工作台接地电阻
万用表
每季度
 
地面
表面阻值
表面阻值仪
每半年
完工验收
点对点电阻
兆欧表
地板接地
目测
每周
防静电工衣
表面电阻
表面阻值仪
每季度
来料检验
布片间点对点电阻
兆欧表
摩擦电压
静电电压仪
防静电鞋/拖鞋
体积电阻
综合测试仪
每季度
来料检验
摩擦电压
静电电压仪
每季度
导静电托盘
表面电阻
表面阻值仪
半年
来料检验
摩擦电压
静电电压仪
防静电文件袋
表面电阻
表面阻值仪
每季度
来料检验
摩擦电压
静电电压仪
 
屏蔽袋
穿透能量/电压
专用设备
 
来料检验
防静电椅
表面电阻
表面电阻仪
每季度
来料检验
对地电阻
兆欧表
台垫
表面电阻
表面电阻仪
每季度
施工验收
摩擦电压
静电电压仪
每季度
电烙铁
接地电阻
万用表
每季度
 
EPA标识
是否完好
目视
每月
 
显示器接地
静电场
静电电压仪
每季度
 
离子风机
偏置电压
CPM
每季度维护
每年校准
来料检验
耗散时间
ESD胶带
表面电阻
表面阻值仪
 
来料检验

 

 
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